日本尼康研发3D ArF光刻机 预计未来销量翻倍
据报道,日本尼康公司提出新的目标,希望2025财年(2025年3月到2026年3月)期间,尼康的光刻机销量能提升到2019-2021财年的2倍以上。
日本光刻机厂商已经没可能在EUV光刻机上抢市场了,但尼康重点放在了能够生产3D芯片的光刻机上,明年将推出支持3D闪存、图像传感器的沉浸式ArF光刻机,这会是未来销量翻倍的杀手锏。
根据 ASML、Canon佳能、Nikon尼康2020年的数据,全球光刻机销量 413 台,同比增长 15%,按季度依次是95台、95台、97台、126台,分别同比增长19%、25%、8%、12%。
2020年413台光刻机中,ASML销售258台占比 62%,佳能销售122台(KrF、i-line)占比30%,尼康销售33台占比8%。
如果是按销售额计算,ASML、佳能、尼康的光刻机销售额占比依次是91%、3%、6%,日本两家公司占比也不到10%,ASML近乎垄断。
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